真空泵能夠排氣，并使系統(tǒng)壓力降低至很低的真空狀態(tài)是其必備的功能。制冷行業(yè)中常用的真空泵與回轉(zhuǎn)式壓編機相似.這種能產(chǎn)生很深度真空度的氣泵均為雙級回轉(zhuǎn)式真空泵，這些真空泵能夠?qū)o泄露容器內(nèi)的壓力降低至0.1微米水銀柱。由于系統(tǒng)內(nèi)制冷劑油會少量汽化并產(chǎn)生壓力，因此在現(xiàn)場安裝的系統(tǒng)中要獲得如此高的真空度不太現(xiàn)實。盡管有些制造商要求達到250微米水銀柱的真空度，但大多數(shù)制造商所要求的常規(guī)真空度約為500微米水銀往。

雙級真空泵只是兩臺單級真空泵的串聯(lián)。這些雙級真空泵幾乎均為回轉(zhuǎn)式結(jié)構(gòu)，因為回轉(zhuǎn)式真空泵沒有像活塞式真空泵那樣的排氣余隙，這就使這種回轉(zhuǎn)式真空泵具有更大的容積效率。雙級真空泵之所以能獲得非常高的真空度是因為第二級的進口壓力很低，源自第一級真空泵排出的低壓空氣再進入第二級真空泵的進口，而不是大氣壓力的空氣直接進入第二級真空泵，這就使第一級泵具有很小的背壓，也因此有更高的效率。第二級真空泵的進口壓力較低，因此可以獲得更高的、僅為0.1微米水銀柱的真空度。雙級真空泵具有最佳的使用記錄，因為這些雙級真空泵在用于排除水分時也能獲得較高的真空度，并且具有極高的效率。

系統(tǒng)內(nèi)存在水分時，深度真空會引起水分汽化成為水蒸氣，這部分水蒸氣由真空泵排除并排放至大氣中。但用這種方法只能將少量的水分排除.要用真空泵將大量的水分排除顯然不太現(xiàn)實，因為水汽化會產(chǎn)生大量的水蒸氣，如系統(tǒng)中有1磅的水(約為1品脫)，如果在70°F溫度下汽化可生成867立方英尺的水蒸氣。