真空安裝在制造過程中，零件外表不可防止地會沾上油脂、汗痕、拋光膏、焊劑、金屬屑、油垢等污染物，同時，污染物在大氣壓下吸附了大量的氣體，在真空環(huán)境中，這些氣體被釋放出來，構(gòu)成了限制真空設(shè)備極限真空的要素。

真空安裝在運(yùn)用過程中，受運(yùn)用條件的影響，零件還會遭到污染，如真空枯燥系統(tǒng)，經(jīng)常會遭到蒸發(fā)物質(zhì)的污染；真空鍍膜機(jī)的內(nèi)壁會被蒸鍍資料污染；離子束刻蝕設(shè)備的內(nèi)壁會被濺射物污染；真空中電子槍的燈絲，由于高溫蒸發(fā)會使其左近外表構(gòu)成金屬膜；真空系統(tǒng)中的機(jī)械泵油和擴(kuò)散泵油更是污染源，會使設(shè)備在長期工作后內(nèi)部構(gòu)成油膜。這些污染同樣會影響設(shè)備的性能。

在各類真空工藝消費(fèi)中，例如，電真空工藝、真空鍍膜工藝、真空焊接工藝等都非常注重真空衛(wèi)生問題。在電真空工藝中，請求裝配到高真空環(huán)境中的零件，事前都必需停止認(rèn)真清洗，否則各種污染物可成為大量氣體和蒸汽的來源，會延長真空器件的排氣時間，不易取得高真空。在真空鍍膜技術(shù)中，基片（襯底）外表的清潔處置也非常重要，暴露于大氣中的襯底外表普遍遭到污染，吸附現(xiàn)象、化學(xué)反響、浸析和枯燥、機(jī)械處置以及擴(kuò)散和離析過程都會使各種成份的外表污染物增加。基片外表在鍍膜之前必需是清潔的，否則鍍層與外表將不能很好地粘附。

環(huán)境污染對真空衛(wèi)生影響很大，環(huán)境污染物來自空氣、地板、墻壁、天花板、工作服的灰塵及棉絨等。為此，真空器件的一些特殊零部件的消費(fèi)，都請求在清潔室或超干凈室里停止。在電子管制造中，管子裝架和零件處置必需在封鎖良好的干凈室里停止，空氣必需經(jīng)過兩極或多極過濾，相對濕度堅(jiān)持在5 0 % 以下。真空衛(wèi)生觸及到真空系統(tǒng)的各個方面，觸及到真空安裝自身及其對四周環(huán)境的請求。這是一個值得注重的問題。

真空室污染物的幾品種型

（1）油脂：加工、裝置和操作過程中感染的光滑劑、真空油脂等；

（2）水滴：操作過程中的手汗、吹玻璃時的唾液等；

（3）外表氧化物：易氧化資料長期暴露或放置在濕潤大氣中所構(gòu)成的外表氧化物；

（4）酸、堿、鹽類物質(zhì)：清潔后的剩余物質(zhì)、手汗、自來水中的礦物質(zhì)等；

（5）空氣中的塵埃及其它有機(jī)物。