近年來真空技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域日趨廣泛,已擴展到整個工業(yè)。而在以半導體、電子工業(yè)為代表的制造工藝中,迫切要求無油污染的
清潔真空。因被抽氣體往往含有腐蝕性蒸汽及磨損粒子,油封泵對此是無能為力的。因而近年來某些國家相繼研制出工作在大氣
壓到0.1pa區(qū)域內(nèi)的干式真空泵,以滿足干式工藝的要求。
干式真空泵有非接觸型的羅茨式、爪式、螺桿式、接觸型的葉片式、凸輪式、活塞式等。非接觸型可以高速旋轉(zhuǎn),但最大壓縮比
小。接觸型的轉(zhuǎn)速不能太高,但最大壓縮比大。尤其在大氣壓附近,因逆流量變大使后者的壓縮比為前者5-8倍。另外,干式真空
泵的轉(zhuǎn)速越高,其壓縮比越大,所以干式真空泵的轉(zhuǎn)速多為3000r/min .
從使用壽命、所能達到的壓縮比、轉(zhuǎn)速及動平衡性等方面考慮,采用多級爪式轉(zhuǎn)子串聯(lián)或羅茨轉(zhuǎn)子與多級爪型轉(zhuǎn)子串聯(lián)組合成干
式真空泵。
這種泵采用了形狀復雜的爪型轉(zhuǎn)子,它也類似羅茨泵型式,兩個轉(zhuǎn)子與泵體之間形成泵腔的抽氣容積,吸氣口和排氣口分別固定
在兩側(cè)端蓋的側(cè)面上,有轉(zhuǎn)子在旋轉(zhuǎn)過程中自動開閉。目前有兩種結(jié)構(gòu)型式,一種是三級爪型轉(zhuǎn)子加一級羅茨型轉(zhuǎn)子構(gòu)成的多級
泵,另一種是四級爪型轉(zhuǎn)子串聯(lián)構(gòu)成的多級泵。
由于爪式泵沿軸向逆流少,故壓縮比在高壓區(qū)較高。
這種泵的吸、排氣口設(shè)置在泵腔的端壁上,多級連接很方便,氣道流暢,泵內(nèi)腔壓力變換平緩,有利于防止可凝性氣體的凝結(jié)。
為了防止可凝性氣體在泵內(nèi)凝結(jié),也要向泵腔內(nèi)通凈化氣體。現(xiàn)在的爪式泵極限壓力為1-10pa,抽速為100-180m3/h,有系列產(chǎn)
品出售。爪式泵也有單級、多級泵出售。
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