羅茨真空泵(簡稱羅茨泵)是一種無內(nèi)緊縮的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菔秸婵毡?。依?jù)羅茨泵工作壓力范圍不同，可分為直排大氣的干式羅茨泵和濕式羅茨泵，這種羅茨泵屬于低真空羅茨泵;此外還有中真空羅茨泵(機械增壓泵)和高真空多級羅茨泵等。羅茨泵具有以下的特性:

①在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速;

②設(shè)有旁通溢流閥，可在大氣壓力下啟動，縮短了抽氣時間;

③轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵腔壁之間有間隙，泵內(nèi)運動無摩擦，不用光滑，泵腔內(nèi)無油;

④轉(zhuǎn)子外形對稱，動均衡性能良好，運動平穩(wěn)，選擇高精度的齒輪傳動，運動時噪聲低;

⑤構(gòu)造緊湊，占空中積小，通常選臥式構(gòu)造，泵腔內(nèi)氣體垂直活動，有利于被抽的灰塵或冷凝物的掃除;

⑥選擇適合的轉(zhuǎn)子型線和精密的研磨加工，可取得較高的容積效率;

⑦運轉(zhuǎn)維護費用低。

? ? ? 羅茨泵在真空系統(tǒng)中，普通與前級泵(旋片泵、滑閥泵和水環(huán)泵等)串聯(lián)構(gòu)成機組，在中真空范圍，作為機械增壓泵來應(yīng)用;雙級或多級羅茨泵機組可取得高真空;關(guān)于干式清潔無油的抽氣系統(tǒng)多用氣冷式羅茨泵機組;關(guān)于含水蒸氣的被抽系統(tǒng)，多用濕式羅茨泵。